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一、流程概述

    特殊氣體配比裝置主要采用控制加入特殊氣體的流量來達到特殊氣體按一定比例混合的目的。一般情況下，是控制含量較少的氣體的流量， 一臺氣體配比裝置主要由特殊氣體流量計、特殊氣體分析儀、PID控制器、流量調(diào)節(jié)閥、壓力表、混合罐、機箱等組成。

二、原理說明：

特殊氣體分析儀測量得到混合罐內(nèi)的特殊氣體含量，特殊氣體分析儀將所測得的含量轉(zhuǎn)換成4～20mA信號，傳送給PID控制器，PID控制器將此信號轉(zhuǎn)換成機械信號向流量調(diào)節(jié)閥發(fā)出動作指令，指揮流量調(diào)節(jié)閥的開度大小，流量調(diào)節(jié)閥的開度大小決定了混合罐內(nèi)的特殊氣體含量，在不斷調(diào)節(jié)中，從而達到特殊氣體按一定比例混合的目的。
 

三、裝置特點
    1、特殊氣體分析儀：選用高精度特殊氣體分析儀，測量精確，可靠性高，反應(yīng)迅速。此特殊氣體分析儀帶4～20mA信號輸出。

2、PID控制器：選用日本SHIMANDEN產(chǎn)PID控制器，控制精度高，能迅速將獲得的信號與設(shè)定值對比，并快速發(fā)出指令，保證控制的準(zhǔn)確度和精度。同時快速的反應(yīng)能保證特殊氣體含量的穩(wěn)定。

3、流量控制閥：選用高靈敏度調(diào)節(jié)閥，閥門動作幅度小，不會出現(xiàn)急開急關(guān)的情況，能很好控制氫氣的供給量，從而保證特殊氣體含量的穩(wěn)定性。

4、設(shè)備整體箱式結(jié)構(gòu)，方便安裝，節(jié)省空間。

5、PID控制主要是基于含量設(shè)定值與含量實際值的差別來實現(xiàn)控制的。當(dāng)實際值低于設(shè)定值時，PID指揮調(diào)節(jié)閥開大流量，當(dāng)實際值高于設(shè)定值時，PID指揮調(diào)節(jié)關(guān)小流量，如此不斷往復(fù)，最終達到平衡，即設(shè)定值與實際值的統(tǒng)一。

四、工藝流程圖：